純水 超純水 汙染物質
純水
- 不論以任何純化方法來去除汙染物質，若無法達到比阻抗值18.2 MΩ．cm的水，都稱為「純水」
- 「離子交換樹脂水」、「蒸餾水」、「逆滲透水」等，都屬於純水
超純水
- 導電率不會低於 0.055 μS/cm（25℃）
- 比阻抗值不會大於 18.248 MΩ．cm（25℃）
- 將水中的導電汙染物質去除到比阻抗值達18.2 MΩ．cm（25℃）時，就稱為「超純水」
- 超純水對週遭環境物質有很高的溶解能力，因而被稱為 “hungry water”
- 超純水可用於精密的清潔工作，即使不使用界面活性劑，亦有相當好的洗淨能力
- 超純水不能飲用，會損害身體組織
- 超純水在管路運送中，因流動摩擦容易產生靜電( s t a t i c e l e c t r i c i t y )，隨著水的純化，其所產生的電位(electrical potential) 升高
- 超純水靜電的產生與系統的管路材質(pipe materials) 和水的流量(flow rate of water) 等有關
汙染物質
- 稱為「超純水」的水，還是可能含有不確定量的有機物、微粒子、微生物等汙染物質
- 必須同時使用「比阻抗值」與「TOC值」來評估水質
純水理論值
理論純水中溫度與比阻抗間的關係
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溫度
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ιH
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ιOH
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－logKω
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ρ
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R 比阻抗
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℃
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Scm2/mol
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Scm2/mol
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─
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g/cm3
|
MΩ．cm
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0
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224.2
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127.8
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14.944
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0.99987
|
84.2
|
|
10
|
275.5
|
156.2
|
14.535
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0.99973
|
42.9
|
|
18
|
315.6
|
178.8
|
14.236
|
0.99859
|
26.6
|
|
20
|
325.5
|
184.4
|
14.167
|
0.99823
|
23.8
|
|
25
|
349.8
|
197.8
|
13.997
|
0.99707
|
18.25
|
|
30
|
373.7
|
211.6
|
13.833
|
0.99567
|
14.1
|
|
40
|
419.5
|
237.2
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13.535
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0.99224
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8.98
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精密工業與超純水
精密工業與超純水
- 當水與空氣接觸，不同氣體會溶入超純水中
- 超純水必須隔絕氧氣
- 其中溶氧嚴重加速腐蝕速率(corrosion rate)，約為二氧化碳的五至十倍
- 超純水系統中的離子交換樹脂也會被溶氧所氧化，降低其品質與使用期限
- 超純水系統中的溶氧會加速管路和設備中細菌的生長
- 可用真空除氣機( v a c u u m deaerator) 或觸媒樹脂(catalyst resin) 隔絕氧氣
- 降低於TOC值
可以紫外線與臭氧處理殺菌，降低於總有機碳(total organic carbon,TOC )值
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